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低温捕集泵影响集气器换热的因素有哪些?

发布时间:2022-02-14      点击次数:261
  低温捕集泵与真空泵抽除气体不同,他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空箱体内或油扩散泵泵口,利用Meissner原理,使水蒸汽,油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面,以达到快速抽真空,提高生产效率,提高镀膜质量的目的。因此,低温捕集泵与真空泵配合使用,较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率,提高产品质量。
  在高真空环境中,都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气,氮气等空气主要成分的分子量都小,因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速,有效地将其抽出,故而越积越多,成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体;同时,由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象,故而会有少量油蒸汽进入真空系统。
  低温捕集泵影响集气器换热的因素:
  (1)不凝性气体
  由于不凝性气体造成集气器内蒸气向壁面扩散阻力增大,削弱了换热,因而降低蒸气的凝结速率,使得分离效果恶化。不凝性气体对换热的影响还与混合气体的运动速度有关,当混合气体流速较低时,使得远离液膜的蒸气分子很难通过,从而阻碍了蒸气的正常凝结。
  (2)自然对流
  自然对流的驱动力来自于纯蒸气和混合气体密度的差别。自然对流导致了气体的循环流动,以及轴向分层现象。界面区附近的热质传递受诸多因素的影响,如工质的物性、系统的内外部温度、气体的数量、集气器的位置及结构尺寸等。混合气体在集气器内的流动是二次相变流动,这是一种集凝结、凝固、凝华的相变过程和热虹吸作用于一身的复杂的物理过程。如何将这一问题简化为几个单一的物理过程的组合,以及寻求更为合理而简单的数学模型,将是我们今后的努力方向。

低温捕集泵.jpg


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