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实验室冷阱在真空操作中的重要作用

发布时间:2022-03-28      点击次数:310
  实验室冷阱是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是真空镀膜设备目前获得极限真空高,抽速至大的抽气泵。冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。它具有极限真空度高(可达10-8Pa)、清洁无油、对各种气体都具有较大抽速等特点,同时它可以长期可靠运行,是分子泵、油扩散泵。能快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;降温、除霜、回温迅速,5分钟可再降温;一台设备可设计两路负载输出,搭配触摸屏+PLC完善的自动化控制;具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示;当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷。因此在半导体器件的生产过程中,广泛运用于蒸发、溅射、离子注入、分子束外延等工艺。
  实验室冷阱在真空操作中的重要作用:
  1.提高真空效率
  真空室中的油气和水汽,靠产品的低温使其冷凝成液,减少对真空度的影响。冷冻真空干燥是常见的干燥方法,以1g冰为例,在0.1Torr时产生可以产生10000L水汽。干燥箱内的水分将产生数量巨大的水汽。这些水汽如果仅靠真空泵来排除,真空泵的工作效率将会降的极低。它的低温可以将水汽在产品部位直接凝结,从而提高真空泵的工作效率。这就是低温干燥箱,低温离心浓缩仪都要配备这款产品的原因。
  2.减少腐蚀性试气体真空泵的影响
  抽真空体系中,经常会有腐蚀性试剂的存在。腐蚀性试剂在抽真空过程中会转化为气体分子通过管路流经真空泵排入大气。腐蚀性气体在流经真空泵时,可能会对真空泵造成的损伤,如:酸性气体会腐蚀真空泵的金属部件。腐蚀性气体经过真空泵的排气口,如果直接排入大气,也会对空气造成污染。
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