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VaporCold水汽捕集泵的应用原理

发布时间:2022-10-20      点击次数:158

在使用油扩散泵或分子泵的高真空环境中,都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸气、油蒸气及其它高沸点的气体,但机械泵抽除残余气体的能力低、时间长。而且残余气体还是工件的污染源,影响产品的产量和质量。

水蒸气、油蒸气是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。

(1)由于水蒸气和油蒸气的存在,导致抽真空时间变长,真空系统无法迅速达到目标真空度,生产效率下降;所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。

(2)同时,水蒸气,油蒸气的存在,会导致膜层牢固度下降,无法多层镀膜,颜色不均一等影响产品质量现象发生。

(3)水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致镀膜颜色发生变化。

深冷水汽捕集泵,是解决以上问题的上佳选择。

深冷水汽捕集泵的工作原理,是依照麦森纳捕集原理(Principle of Meissner trapping),使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,有效地吸附水蒸气,达到捕集水汽的目的。

深冷水汽捕集泵的具体应用:将一个-100℃以下的低温盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间),获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

近二十年来,在深冷水汽捕集泵领域,国产设备取得了长足的进步,*替代了PolyCold设备,性能指标与进口设备一致,价格不到进口设备的二分之一,具备很高的性价比。在安全性、便利性、数据可追溯性方面,VaporCold深冷水汽捕集泵,*超越进口同类产品。

在实际应用中,根据低温表面所放置的位置不同,一般可以分为两大类 :

A、 低温盘管(水汽捕集器)

低温盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。非常适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。低温盘管需要有加热除霜功能,使盘管在每次破真空之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下一个产品周期的抽真空时间。

PolyCold水汽捕集泵1.jpg


B、低温挡板(冷阱)

放置在油扩散泵的泵口、高阀以下,主要功能是防止油扩散泵的油气返流,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜功能。


PolyCold水汽捕集泵2.jpg

根据需要,低温盘管和低温挡板,可以分别安装,也可以同时安装。


VaporCold水汽捕集泵的主要作用:

缩短抽真空时间,提高镀膜质量和产量。


VaporCold水汽捕集泵的主要特点:

1、快速捕集水汽、油气、可缩短抽真空时间60-90%;

2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;

3、降温快,3分钟内制冷到-100℃,可达-150℃;

4、升温快,3分钟热气除霜,迅速回温;

5、制冷系统优化设计,3分钟可再次降温;

6、彩色触摸屏与工业PLC组合,历史记录可查询;

7、国际品牌制冷压缩机,环保混合制冷剂;

8、国际标准接口,可设计为单路或两路负载输出;

9、单路或两路负载入口温度和出口温度的显示和记录;

10、内部温度、水冷温度、排气温度、排气压力的显示和记录;

11、除霜温度自由设定,除霜结束后自动提示;

12、压缩机温度过高、压力过高报警保护;

13、水冷不足、水温过高报警保护;

14、阀门箱前置,方便操作,避免冷凝水泄漏;

15、本地、远程自由转换,便于机台组合控制;

16、配置RS485、TCP/IP通信接口,方便连接上位机。

VaporCold系列-135℃深冷水汽捕集泵,采用成熟的核心技术、可靠的设计方案、进口品牌制冷压缩机及制冷配件、环保混合制冷剂、自动复叠制冷。制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。其设计和制造与国际技术水平同步,性能指标达到甚至*进口机型,可实现对进口机型的直接替换。

长流仪器历经二十余年的发展,针对真空镀膜行业开发了VaporCold系列水汽捕集泵,替代PolyCold,可为真空镀膜行业提供完整的水汽捕集方案,帮助客户提高生产效率、减少生产费用, 改进制程表现, 提高产品质量和产量。



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