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水汽深冷捕集器是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是真空镀膜设备目前获得极限真空高,抽速至大的抽气泵。冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。
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