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Polycold的拆装你做好准备了吗?

发布时间:2020-03-02   点击次数:69次
   Polycold气体低温冷凝泵是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是真空镀膜设备目前获得极限真空高,抽速至大的抽气泵。冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。它具有极限真空度高(可达10-8Pa)、清洁无油、对各种气体都具有较大抽速等特点,同时它可以长期可靠运行,是分子泵、油扩散泵无法比拟的。因此在半导体器件的生产过程中,广泛运用于蒸发、溅射、离子注入、分子束外延等工艺。
  Polycold的拆卸过程及解决办法:
  1.拆下冷凝泵的电源线并做好标记;
  2.拆下附线板和过滤网;
  3.拆下水泵体与电机的连接螺母,使电机与水泵体分离,联轴节没有问题;
  4.拆泵体,先用管钳转动铸铜连接座(连接座与泵体为螺纹连接),旋下连接座后,可直接取出一串离心泵叶片,其中间为一铸铜支架,上、下各11片叶片,共计22片。用清水清洗,发现叶片轴孔磨损较大,无法修理,但还可使用。铸铜支架内的电机轴套磨损最严重,电机轴套与铸铜支架的间隙大约为1mm。
  对于这个过程中的问题首先要解决的是横向摆动大的问题,重新配个电机轴套(与铸铜支架内孔配做),使电机轴套在铸铜支架内壁刚好能转动,减小间隙;再解决轴向窜动问题,与内六角电机轴配做内六角垫圈。
  Polycold具体装配过程:
  按拆卸的先后顺序,把配做好的电机轴套装在铸铜支架内;再依次将离心叶片通过电机轴分别装在铸铜支架两端,每隔一个叶片垫上一个内六角垫圈,不能垫得过多,过多会使轴间无间隙;再装入泵体内,旋紧铸铜连接座,泵体装配完毕;最后,将泵体与电机装配在一起,装上过滤网和附线板,Polycold就装修成功了。
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