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气体低温冷凝泵

更新时间:2020-09-15

简要描述:

气体低温冷凝泵是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是真空镀膜设备目前获得极限真空高,抽速至大的抽气泵。冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。

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  气体低温冷凝泵是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是真空镀膜设备目前获得极限真空高,抽速至大的抽气泵。冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。真空度高(可达10-8Pa)、清洁无油、对各种气体都具有较大抽速等特点,同时它可以长期可靠运行,是分子泵、油扩散泵无法比拟的。因此,在半导体器件的生产过程中,广泛运用于蒸发、溅射、离子注入、分子束外延等工艺。

  气体低温冷凝泵应用原理:

  1.在真空系统中,水蒸气是影响抽真空装置抽气速度的障碍,水汽捕集泵可以快速有效捕捉系统残余空气中65%到95%的水蒸气,减少抽水蒸气所耗费的时间,效率高达80%。在现有的抽真空系统中加装KD深冷捕集泵,可以增加产能30%以上;还可以提高镀膜机的稳定性,提高膜层附着力,从而提高镀膜品质。

  2.在真空系统中,水蒸气是的污染源,因此在要求更高的镀膜品质中,若能得到更低的蒸气分压,可以增强膜层的附着力,提升镀膜品质,在气体低温冷凝泵所抽的气体往往是混合气体,如空气,因而对某一冷表面来说同时存在“可凝性”气体和“不可凝性气体”。于是在低温表面上便发生一下奇特现象:在可凝性气体的凝结过程中,能不断捕获其他非可凝成分,并降低其压强,这种作用称为低温捕集。

  气体低温冷凝泵可以获得抽气速率大、极限压力低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

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